Nachdem die ELEMENT 3-5 GmbH bereits mit der Einführung der Next Level Epitaxy neue Wege in der Halbleitertechnologie beschritten hat, freut sich das Unternehmen, mit dem Start des Verbundprojekts EPIWIN einen weiteren wichtigen Baustein zur Veränderung der Halbleiterproduktion beizutragen. EPIWIN steht für "Epitaxie mit integrierter Nanostrukturierung". Das Projekt zielt darauf ab, die Next Level Epitaxy der ELEMENT 3-5 GmbH mit Laserstrukturierungsprozessen im sub-μm und ~10μm-Bereich zu kombinieren, um die Herstellung versetzungsarmer Schichten in fertigen, isolierten Dies zu ermöglichen. Diese Methode wird wesentlich kostengünstiger und auch umweltfreundlicher sein als die herkömmliche Methode zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, die den Einsatz mehrerer Anlagen erfordert, zwischen denen der Wafer mit erhöhtem Kontaminationsrisiko immer wieder transportiert wird - teilweise sogar an verschiedenen Standorten oder ausgelagert an Zulieferer. Um das Kontaminationsrisiko einigermaßen einzuschränken, wird der Wafertransport im herkömmlichen Produktionsablauf daher in vakuumversiegelten Einwegverpackungen durchgeführt, wodurch eine große Menge an Verpackungsmüll entsteht. Nicht so bei EPIWIN: Die Integration von Strukturierung und Epitaxie in ein Anlagenkonzept eröffnet die Möglichkeit einer Fließbandproduktion, die neben der Reduzierung der Ausschussrate auch den Energieverbrauch halbiert und die Umweltbelastung um mehr als das Dreifache reduziert. Eine deutliche Kostenreduzierung ist selbstverständlich.
Neben der ELEMENT 3-5 GmbH, die auch die Rolle des Projektkoordinators übernommen hat, sind das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT und die Innolite GmbH die Projektpartner im EPIWIN-Projekt. Assoziierter Partner ist die Coherent Laser Systems GmbH. Dank der langjährigen Erfahrung des Fraunhofer ILT auf dem Gebiet der Laserstrukturierung, dem Know-how der ELEMENT 3-5 GmbH auf dem Gebiet der Niedertemperatur-Epitaxie und der Expertise der Innolite GmbH in der Herstellung hochpräziser optischer Elemente sind die notwendigen Kompetenzen für dieses Projekt hervorragend ausgeprägt.
Das Projekt "EPIWIN" wird im Rahmen des EFRE/JTF-Programms NRW 2021-2027 mit der Fördermaßnahme "Innovationswettbewerb Industrie.IN.NRW" gefördert. Die Mittel werden vom Ministerium für Wirtschaft, Mittelstand, Klimaschutz und Energie des Landes Nordrhein-Westfalen bereitgestellt und von der Europäischen Union kofinanziert. Der Start des Verbundprojektes war der 1. Mai 2024. Die Laufzeit beträgt 3 Jahre.
